无色、透明、低粘度、不可燃、安全性高的液体,具有良好的化学惰性、电气绝缘性能、热传导性和独特的低表面张力广泛应用于半导体制造厂作为热传导介质。主要应用于蚀刻设备、离子注入设备、测试设备及其他设备。
不可燃的绝缘液体,具有工作温度范围广、维护和清洗方便等特点。是传统冷却液(如水、水乙二醇或油)的替代品。氟化液被广泛应用,从半导体冷却板的冷却到数据中心的浸入式冷却,再到航空电子设备的喷雾冷却。
特殊稳定性和清洗的冷却效果,它可以长时间运行而不会对电子设备造成任何损坏,并且在运行过程中不会损坏空气。是一种理想的散热材料。
臭氧消耗潜能值ODP为零,全球暖化潜势系数GWP 低,大气停留时间短,化学和热稳定性高,无毒,表面张力低,被广泛应用于医疗、电子、金属、精密器械、光学镜片、通信及航空航天等众多领域。
作清洗剂:可用于清洗半导体刻蚀腔体及零件;清除氟素残留堆积物;清洗FOUPs(前开式标准晶圆盒);清洗精密电子零件的颗粒杂质;清洗LCD/OLED显示器、光学零件及镜片;清洗汽车引擎零件;清洗通讯设备及航空引擎、输氧管路设备;清洗医疗设备零件等。
用作溶剂:可用于气密性测试和耐电压测试的媒介物;电子涂层、屏幕涂层稀释剂;氟油、氟树脂、氟涂层稀释剂;反应溶媒以及分析用萃取溶剂等。
作冷媒:可用于数据中心沉浸式冷媒;功率器件沉浸式冷媒;干法刻蚀装置、光刻装置、离子喷射装置、探头及信息处理装置的控温冷媒;也可用于食品工业冷却装置、冷冻干燥、橡胶塑料的冻结粉碎、化学医药品工业冷却装置等。
典型数据 | THD-L721 | ||
外观 | 透明液体 | ||
沸程℃ | 85~115 | ||
含水量(ppm) |
<30 | ||
密度(25℃),g/cm3 | 1.77 | ||
可燃性 | 不燃 | ||
以上数据只提供参考,不具契约书性质 |
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